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NF EN 62047-22, C96-050-22 (12/2014)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22 : electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates - Dispositifs à semiconducteurs
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Summary
Le présent document spécifie une méthode d'essai de traction en vue de mesurer les propriétés électromécaniques des matériaux des systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electromechanical Systems) de couches minces conductrices collés sur des substrats souples non conducteurs.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 12/01/2014 |
| Release Date | 12/01/2014 |
| Page Count | 18 |
| Themes | Electrotechnologies |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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