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NF EN 62047-8, C96-050-8 (10/2011)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8 : méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces
Summary
Le présent document spécifie la méthode d'essai de flexion de bandes, afin de mesurer les propriétés de traction des couches minces avec une haute précision, répétabilité, un effort modéré d'alignement et de manipulation en comparaison de l'essai de traction conventionnel.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 10/01/2011 |
| Release Date | 10/01/2011 |
| Page Count | 22 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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