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NF EN 62047-8, C96-050-8 (10/2011)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8 : méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces

Summary

Le présent document spécifie la méthode d'essai de flexion de bandes, afin de mesurer les propriétés de traction des couches minces avec une haute précision, répétabilité, un effort modéré d'alignement et de manipulation en comparaison de l'essai de traction conventionnel.

Technical characteristics

Publisher Association Française de Normalisation (AFNOR)
Publication Date 10/01/2011
Release Date 10/01/2011
Page Count 22
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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