NF EN ISO 25178-603, E05-031-603 (12/2013)

Le présent document décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges, conçus pour la mesure des cartes topographiques des surfaces. Il décrit les grandeurs d'influence dont les écarts affectent les caractéristiques métrologiques. Il fournit le principe de fonctionnement, les composants, les erreurs et correction des microscopes interférométriques à glissement de franges. Le présent document est une norme GPS générale, dont la situation dans la matrice GPS est indiquée en Annexe D.