NF ISO 22493, X21-010 (06/2009)

Le présent document définit les termes utilisés dans les applications de la microscopie électronique à balayage (MEB). Il couvre des concepts généraux et des concepts spécifiques, hiérarchisés selon un ordre systématique, et inclut les termes déjà définis dans l'ISO 23833, le cas échéant. Il s'applique à tous les documents de normalisation relatifs à la pratique de la MEB ainsi qu'aux documents relevant de domaines apparentés (ex. l'EPMA, la MEA, l'EDS), pour la définition des termes pertinents dans ces domaines.