VDI/VDE 2655 Blatt 1.2:2009-09

Die vorliegende Richtlinie gilt für Konfokalmikroskope zur Messung der Topografie technischer Oberflächen. Die beschriebenen Prozeduren für die Kalibrierung sind vergleichbar zu den Methoden, die sich bereits bei den Richtlinien für die Rückführung von Tastschnittgeräten (siehe Bild 1) bewährt haben (DKD-R-4-2, EAL G-20). Entsprechend sind, so weit es möglich ist, auch die dort erprobten Normale (Planglas, optisches Gitter, Tiefeneinstellnormal, Raunormal) übernommen. Diese Richtlinie beschränkt sich auf die Grundkalibrierung der bildgebenden Konfokalmikroskope. Unter Konfokalmikroskopen versteht man solche Messgeräte, deren Grundprinzip auf der Abbildung einer Punktlichtquelle auf die zu vermessende Probe im Beleuchtungszweig und der Abbildung des zurück reflektierten Lichts auf einen korrespondierenden punktförmigen Intensitätssensor im Detektionszweig beruht. Hierbei liegt der Fokus auf der Messung von dreidimensionalen Oberflächentopografien. Die Richtlinie behandelt die erforderliche Rückführung auf die Längeneinheit über die Messung an rückgeführten Tiefeneinstellnormalen. Dies entspricht dem rechten vertikalen Pfad in Bild 1. Aus diesen Messprozessen ergibt sich die Herleitung für die Messunsicherheitsberechnung der Gerätekalibrierung und die der Messung an Tiefeneinstellnormalen.*www.vdi.de/2655