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VDI/VDE 2656 Blatt 1:2006-12
Determination of geometrical quantities by using of scanning probe microscopes - Calibration of measurement systems
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Summary
Diese Richtlinie ist beschränkt auf Rastersondenmikroskope und deren Kalibrierung. Sie umfasst die Verifizierung der für die Messung geometrischer Maße notwendigen Geräteeigenschaften und die Kalibrierung der Bewegungsachsen (x, y, z), das heißt, die Rückführung auf die Längeneinheit über die Messung an rückgeführten Lateral- und Stufenhöhennormalen.*www.vdi.de/2656
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 12/01/2006 |
| Cancellation Date | 06/01/2008 |
| Page Count | 47 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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